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韩国科技媒体5月28日报道，韩国化工材料企业PKC，正将其半导体级高纯氯气产能扩大50%，并且在近期已启动扩产工程，年产能将从约1400—1500吨提升至2100—2200吨，投资规模预计达数百亿韩元。
消息称，此次扩产是与三星电子预先商议后敲定，扩产主要原因是随着更高层数NAND闪存量产，刻蚀气体需求激增，同时三星电子对高纯氯化氢的供应需求也在提升。业内人士表示，氯气扩产必须提速，以匹配三星下半年扩大氯化氢采购的计划。
一方面，氯气是半导体刻蚀工艺的关键特种气体，主要用于铝、铜等金属互联层刻蚀，要求纯度达到5N（99.999%）以上的超高纯等级。当前NAND闪存厂商已突破200层，并向300层以上竞争。NAND通道孔刻蚀对氯气的消耗量，显著高于DRAM；在GAA环绕栅极、FinFET等先进代工工艺中，氯气用量同样巨大。
另一方面，氯化氢需求快速增长。氯化氢由氯与氢合成，以氯气为原料，扩产氯化氢必须先提升氯气产能。氯化氢用于晶圆清洗、刻蚀及外延层沉积，可将晶圆表面残留金属离子与氧化物转化为挥发性氯化物去除，逻辑代工需求高于存储器。行业消息称，三星近期要求PKC增加氯化氢供应，并将其应用范围从仅DRAM扩大至全部NAND与代工工艺。
多种电子气体供应紧张
电子气体是半导体产业制造用的超高纯特种气体，被誉为芯片的“血液”，其纯度要求高，生产难度大，一般电子级的气体要求5N（99.999%）起步，先进制程需6N（99.9999%）甚至更高，一条12寸晶圆线约用50种电子气体，包括氟基、硅基、掺杂类气体等，是半导体制造核心材料。
随着全球半导体产业快速复苏、AI芯片与先进制程需求集中爆发，叠加中东地缘局势持续紧张，今年以来电子级气体供应紧张的消息不断。其中，高纯氦气、六氟化钨、高纯氯化氢、氖气、三氟化氮等关键电子特气供需矛盾尤为突出，价格大幅上涨，部分品种甚至出现现货断供风险，已成为制约先进制程产能释放的重要瓶颈。
以高纯氦气为例，今年3月，卡塔尔拉斯拉凡工业城遭袭，全球30%—35%氦气产能瘫痪，此外，俄罗斯在今年4月又对氦气出口实施管制，导致全球半导体制造所需氦气供应紧张。
近期，六氟化钨和电子级氟化氢两种气体出现供应缺口。其中，六氟化钨价格出现暴涨，海关总署披露的数据显示，2026年4月半导体核心电子气体六氟化钨出口均价达149.79美元/公斤，同比上涨28.33%，环比暴涨203.83%，涨价幅度超预期。
氟化氢方面，由于中东局势紧张，导致硫磺供应中断，直接推高硫磺、硫酸以及无水氟化氢的价格，无水氟化氢作为半导体级氢氟酸的核心原料，年内价格涨幅已达约40%。媒体报道称，韩国半导体氢氟酸供应链承压，已开始为进口自中国的无水氟化氢支付大幅上涨的采购价格。
这些公司布局电子级氯气
华泰证券研报表示，电子气体是芯片制造的关键原料，存储等新需求有望推动行业景气。据SEMI，2020年电子特气占晶圆制造成本的13%，仅次于硅片。随着芯片向3D NAND及HBM的多层结构、先进制程以及先进封装方向发展，电子气体需求未来有望持续增长。
电子级氯气方面，数据宝根据公开资料梳理，多家上市公司已布局相关业务。
滨化股份5月18日的调研纪要显示，公司电子级氯气中试项目通过专家验收，将加快6N级电子级氯气、电子级盐酸和电子级氟化氢研发落地及商业化。
联泓新科2025年年报显示，公司电子级高纯特气装置主要产品超高纯电子级氯化氢、 电子级氯气质量优异，供应台积电、上海新昇等行业领先企业。
湖北宜化在5月18日的调研纪要中表示，在电子化学品方面，公司重点发展电子级氢氟酸、磷酸、硫酸、双氧水等湿电子化学品和电子级氯气、氯化氢、硅烷等电子特气。
和远气体2025年年报显示，公司潜江电子特气产业园的“电子级超纯氨、高纯氢、电子级氯化氢、电子级氯气、电子级甲烷、电子级一氧化碳、高纯羰基硫等电子特气及电子化学品”等产品已经全部投产。
此外，中巨芯、金宏气体、华特气体均是电子级氯气相关生产企业。
从工业气体概念股表现来看，受供应紧张影响，相关概念股年内大幅上涨。其中，中船特气年内股价涨幅超330%，公司是国内六氟化钨龙头；华特气体、三孚股份、广钢气体等年内股价翻番，其中华特气体是国内电子特气国产龙头，截至2025年底，公司实现进口替代的产品已增至57款。
今年以来，有10家工业气体上市公司获得机构调研，华特气体、金宏气体、广钢气体、中船特气参与调研的机构数均超100家，蜀道装备、杭氧股份、福斯达、正帆科技参与调研的机构均在20家以上。
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